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NSR-2205i14E2

产品名称：Nikon 光刻机
品牌：Nikon
所在地：上海
产品型号：NSR-2205i14E2
适用行业：化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度

≦ 350 nm

NA

0.63

露光光源

i-line (365 nm wavelength)

缩小倍率

1:5

最大露光范围

22 mm square to 17.9 (H) × 25.2 (V) mm 

重合精度

≦ 40 nm

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