Nikon I线光刻机采用365nm波长的光源，是半导体制造中实现精细图形转印的关键设备。其主流机型涵盖NSR系列（步进投影式）和SF系列（扫描式），可适配包括2英寸、4英寸、6英寸、8英寸及12英寸在内的多种晶圆尺寸。这种广泛的工艺兼容性，使得尼康I线光刻机能够灵活应用于不同规模的半导体产线，满足多样化的生产需求。