Canon I线光刻机
Canon I线光刻机以365nm波长为曝光光源，是实现微米级半导体制造的核心设备。该设备在对准精度方面具备卓越性能，可广泛适配于4英寸、6英寸、8英寸及12英寸晶圆的生产需求。
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