NSR-S204B

产品名称：Nikon光刻机
品牌：Nikon
所在地：上海
产品型号：NSR-S204B
适用行业：化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度	≦150nm
NA	0.68
露光光源	KrF excimer laser (248 nm wavelength)
缩小倍率	1:4
最大露光范围	25 × 33 mm
重合精度	≦ 35 nm